真空熱處理工藝的發展與設備的發展密不可分。 提高設備的技術水平以滿足工藝要求通常與支持零件技術的發展密切相關。 橡膠葉輪的開發主要是為了通過活塞式氣泵獲得真空，但只能達到0.25托的真空。 隨后的管制造技術要求更高的真空度，這促進了真空技術的發展，因此出現了各種橡膠葉輪：旋轉水銀橡膠葉輪，油封旋轉橡膠葉輪，分子橡膠葉輪和擴散橡膠葉輪。 其中，擴散橡膠葉輪的發明使真空技術進入了高真空階段（約10-8根毛發）。 隨著現代科學技術的發展，例如加速器，熱核反應堆，大型真空護罩等，要求能夠在大空間中建立必要的真空。 因此，到1960年代初，擴散器橡膠葉輪的排氣速度已達到數萬升/秒。 然而，就真空熱處理所需的真空度而言。 僅在特殊情況下， 因此，真空熱處理爐中常用的橡膠葉輪由機械橡膠葉輪和油蒸發擴散橡膠葉輪組成。